फोटोरेसिस्ट सिंहावलोकन

फोटोरेसिस्ट, जसलाई फोटोरेसिस्ट पनि भनिन्छ, ले पातलो फिल्म सामग्रीलाई बुझाउँछ जसको घुलनशीलता यूभी प्रकाश, इलेक्ट्रोन बीम, आयन बीम, एक्स-रे, वा अन्य विकिरणको सम्पर्कमा आउँदा परिवर्तन हुन्छ।

यो रेजिन, फोटोइनिसिएटर, सॉल्भेन्ट, मोनोमर र अन्य एडिटिभहरू मिलेर बनेको हुन्छ (तालिका १ हेर्नुहोस्)। फोटोरेसिस्ट रेजिन र फोटोइनिसिएटर फोटोरेसिस्ट कार्यसम्पादनलाई असर गर्ने सबैभन्दा महत्त्वपूर्ण घटक हुन्। यसलाई फोटोलिथोग्राफी प्रक्रियाको क्रममा एन्टी-क्रोसन कोटिंगको रूपमा प्रयोग गरिन्छ।

अर्धचालक सतहहरू प्रशोधन गर्दा, उपयुक्त रूपमा चयनात्मक फोटोरेसिस्ट प्रयोग गर्नाले सतहमा इच्छित छवि सिर्जना गर्न सकिन्छ।

तालिका १।

फोटोरेसिस्टहरूलाई तिनीहरूले बनाउने छविको आधारमा दुई मुख्य वर्गमा वर्गीकृत गरिन्छ: सकारात्मक र नकारात्मक। फोटोरेसिस्ट प्रक्रियाको क्रममा, एक्सपोजर र विकास पछि, कोटिंगको खुला भागहरू विघटन हुन्छन्, खुला नभएका भागहरू छोडिन्छन्। यो कोटिंगलाई सकारात्मक फोटोरेसिस्ट मानिन्छ। यदि खुला नभएका भागहरू विघटन हुँदा खुला भागहरू रहिरहेमा, कोटिंगलाई नकारात्मक फोटोरेसिस्ट मानिन्छ। एक्सपोजर प्रकाश स्रोत र विकिरण स्रोतको आधारमा, फोटोरेसिस्टहरूलाई थप UV (सकारात्मक र नकारात्मक UV फोटोरेसिस्टहरू सहित), गहिरो UV (DUV) फोटोरेसिस्टहरू, एक्स-रे फोटोरेसिस्टहरू, इलेक्ट्रोन बीम फोटोरेसिस्टहरू, र आयन बीम फोटोरेसिस्टहरूको रूपमा वर्गीकृत गरिन्छ।

फोटोरेसिस्ट मुख्यतया डिस्प्ले प्यानल, एकीकृत सर्किट र डिस्क्रिट सेमीकन्डक्टर उपकरणहरूमा सूक्ष्म-दानायुक्त ढाँचाहरूको प्रशोधनमा प्रयोग गरिन्छ। फोटोरेसिस्ट पछाडिको उत्पादन प्रविधि जटिल छ, उत्पादन प्रकार र विशिष्टताहरूको विस्तृत विविधता सहित। इलेक्ट्रोनिक्स उद्योगको एकीकृत सर्किट निर्माणले प्रयोग गरिएको फोटोरेसिस्टमा कडा आवश्यकताहरू लागू गर्दछ।

फोटोक्युरेबल रेजिनको उत्पादन र विकासमा विशेषज्ञता हासिल गरेको २० वर्षको अनुभव भएको निर्माता एभर रेले २०,००० टनको वार्षिक उत्पादन क्षमता, एक व्यापक उत्पादन लाइन र उत्पादनहरूलाई अनुकूलित गर्ने क्षमताको गर्व गर्दछ। फोटोरेसिस्टमा, एभर रेमा मुख्य घटकको रूपमा १७५०१ रेजिन छ।